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晶體生長爐

  • 所屬分類:真空燒結爐
  • 關 鍵 詞:真空燒結爐 晶體生長爐
  • 瀏覽次數:8523次
  • 發布日期:2019-02-01
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  • 信息介紹
  • 一·設備用途:

    主要用于LED行業的藍寶石晶體制備。

    二·設備特點:

    本設備采用分體模塊化設計,立式底出料結構,爐體,真空系統,電控系統分別模塊化式設計,現場三大模塊按照平面布置圖拼接組合起來,不用每樣都分別拆分組裝,安裝方便快捷,***整潔大方。

    三·主要技術參數

    1.**加熱溫度:              1800℃

    2.功率:                    80Kw±10%單相整流
    2.冷態極限真空度:            ≤5×10E-**a

    3.壓升率:                  ≤2Pa/h
    4.爐體尺寸:                Ф750×1065mm(直徑×高)

    5·工作尺寸:                Ф320×300

    6.測溫系統:                 熱電偶

    7.控溫精度:                 ±0.1℃,采用歐陸溫控儀表

    8.加熱區:                   一區

    9.坩堝升降參數:              位移行程 400mm

    慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

     快速升降50-200mm/min(伺服控制)

    10.底出料參數:                 位移行程 850mm

      升降速度100-1000mm/min

    11·爐內充氣壓力:             ≤0.05MPa

    12·充放氣系統:               兩路(一路采用電磁閥充放氣,一路預留充放氣接口)



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